Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
We have proposed the new micro column electron beam microscope fabricated with multi-gated field emitter array based on the first result that a crossover successfully observed with quintuple-gated FEA. In order to realize the fine focused electron beam less than several ten nm in diameter, the initial emission angle after emitting from tip surface has to be controlled narrowly. In this report, it...
The concept of column-less SEM using field emitter with a multi-stacked electrostatic lens (multi-gate FE) is proposed. To realize the column-less SEM, we revised fabrication process of the multi-gate FE.
In this paper, we report on the evaluation of the emission uniformity in the emission area of the cathodes by using a Faraday-cup with a probe hole of 20 mum in diameter. In the experiments, the cathodes were operated in pulse mode with the frequency of 100 Hz with pulse width of 250 mus in a vacuum of 10"8 Pa.
This paper reports the successful fabrication of a field emitter array with a built-in multi-electrode lens, such as a quad-gate and a penta-gate FEA. The fabrication is based on an etch-back technique.
In this paper, a self-focusing field electron emitter was proposed and simulated with finite element method. In the electron emitter proposed, the gate electrode is placed on center and surrounded by cathode. Therefore, gate electrode is not only to extract the electron from cathode, but also to focus the electron beam. The simulated results show a significant decrease of the dispersion of electron...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.